ナノ加工技術コラム

2023.06.19

ナノレベルの超精密加工を行うために求められる加工環境

超精密微細加工.comを運営するジュラロン工業株式会社では、長年積み上げてきた豊富な超精密金型の加工ノウハウを用いて、ナノレベルの超精密加工を行っております。ワーク素材、サイズ、形状により細かな加工精度は異なりますが、例えば形状精度であればPV0.05μm（50nm）を機械加工のみで達成することができます。

当記事では、ナノレベルの超精密加工品の製作を多数手掛けてきた当社の経験に基づいて、ナノレベルの超精密加工を行うために求められる加工環境をご紹介します。

1．工場内部・外部からの振動を遮断

ナノレベルの超精密加工を行うためには、加工時の振動をいかに抑え込むかが非常に重要です。まず、工場内の振動を遮断するためには、空気ばねを用いるパッシブダンパー、電子制御によって減衰力をコントロールするアクティブダンパー等を加工設備に搭載する必要があります。当社では、全ての設備にダンパーを搭載しており、特に加工時間が長い設備については、除振性能の高いアクティブダンパーを搭載しています。

さらに、版上WIB工法により、振動対策を施し建設された工場内で超精密加工を行っています。

2.　 ±0.1℃に管理された恒温室

いくら、高度な加工技術・加工設備を保有していたとしても、温度管理がなされていなければ、ナノレベルの加工を行うことはできません。例えば、±0.5℃程度の温度変化があったただけでも、加工精度に大きな影響を及ぼします。

当社では、加工現場が±0.1℃に温度管理されておりますので、温度による材料の寸法変化や、ナノ加工機の温度変化による加工精度への影響を未然に防ぎ、ナノレベルの加工を実現しています。

３.　実は湿度管理も重要

金属のナノ加工ではあまり影響はありませんが、当社が得意とするレンズなどの樹脂は吸湿による寸法変化が生じますので、ナノ加工を行う環境では、シビアな湿度管理も重要になります。当社では±0.1℃の温度管理と共に、±5％の湿度管理も行っておりますので、樹脂の加工においても高精度加工が可能です。

ナノレベルの超精密加工なら当社にお任せください！

今回は、ナノレベルの超精密加工を行うために求められる加工環境について詳しく説明しました。超精密微細加工.comを運営するジュラロン工業では、最新の各種ナノ加工機に加えて、高度なナノ加工技術と加工プログラム技術で、ナノオーダーの超精密加工のご要望にお応えすることが可能です。また、当社では、お客様のご要望に応じて、加工時間削減・コストダウンのためのVA/VE提案もさせて頂きます。是非お気軽にご相談ください。

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