加工スペック

加工スペック

加工スペック

加工精度

形状精度PV0.2μm以下(5軸加工機)
PV0.1μm以下(2軸・3軸加工機)
RMS 50nm
寸法精度±2μm
ピッチ精度±0.5μm
幾何公差面粗度:Ra2nm
真円度:1μm以下
同心度:1μm以下

加工サイズ

2軸・3軸 Φ300以下
5軸 A4サイズ以下

※サイズ・形状により達成できる加工精度は異なります。
詳しくはお問い合わせください。

超精密 微細加工の一例

シャープエッジ加工(フレネルレンズ)

シャープエッジ加工(フレネルレンズ)

金型のNi-Pめっき面に対して、金型底部コーナーRを極限まで小さくすることを目的として製作。

ダイヤモンドバイト形状および加工条件最適化にてコーナーR2μm以下・表面粗さRa2nmを実現

高精度ピッチ加工(ウエハーレベルレンズ)

高精度ピッチ加工(ウエハーレベルレンズ)

Ni-Pめっきを被削材とし、形状精度PV0.2μm、 ピッチ精度±0.0005mm(0.5μm)以下に加工した製品です。
このレンズアレイ金型は2面で構成され、全てのレンズにおいて±0.5μmのピッチ精度を達成しています。

小径急勾配加工(マイクロレンズアレイ)

小径急勾配加工(マイクロレンズアレイ)

Ni-Pめっき面に形状
精度PV0.2μm、rms50nm以下の精度で加工したマイクロレンズアレイです。小さなレンズが多数列んでいますが、最大角度70゚以上というレンズ形状を有しているため、形状精度確保が非常に難しい製品です。

面粗度の改善加工(切削レンズ)

面粗度の改善加工(切削レンズ)

ワークサイズΦ60㎜のポリカードネート樹脂に、切削加工のみで表面粗さRa0.8nmを達成。

通常単結晶ダイヤモンド工具での切削では、表面粗さはRa10nm程度のところ、切削後に特殊処理を行っています。

微細溝加工(回折格子)

微細溝加工(回折格子)

Ni-Pめっき面に対し、山ー谷の幅10μmで
深さ1.4μmかつシャープなエッジにて加工。

高精度な回折効率をコントロールすることで、フォトリゾグラフィでは得られないシャープなエッジを実現。

超精密 微細加工は
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