ナノ加工技術コラム

2024.11.19

最小矩形溝幅5μｍを実現する超微細溝加工のポイント

超微細溝加工とは、ミクロン単位のピッチの溝を加工する技術のことを指します。
回折格子をはじめとした光学部品では、この超微細溝加工が求められ、その溝形状もV溝や矩形溝など多岐に渡ります。

当社では、回折格子や非球面レンズ、フレネルレンズなどをはじめ、超微細溝加工の実績が多数ございます。
本記事では、そんな当社の実績に基づき、最小矩形溝幅5μmを実現する超微細溝加工のポイントをご紹介します。

最小矩形溝幅5μｍを実現する超微細溝加工のポイント

一般的に、精密な溝加工は、エンドミルを用いた切削加工により行われます。
ご存知の通り、この加工方法は産業用機構部品をはじめとして幅広く用いられていますが、
フレネルレンズなどの光学部品の加工にも採用されることがあります。
しかしながら、このエンドミルを用いた切削加工では、工具径の問題で、矩形溝加工を行う場合は、最小溝幅：40μmが限度です。

では、回折格子をはじめとした光学部品において、最小矩形溝幅5μｍを求められる場合はどうすればよいのでしょうか。
ここで用いられる加工方法が、引き切り加工です。
引き切り加工とは、ダイヤモンド工具を用いて、工具とワークを相対運動させる加工方法を指します。

この引き切り加工では、なんと最小矩形溝幅5μmを実現することができます。
また、ナノオーダーの深さのコントロールも可能なため、回折格子をはじめとした光学部品などの高い精度が求められる部品において、この引き切り加工が有効です。

ちなみに、当社ではこの加工方法を用いることで、最小溝幅5μmレベルの超微細溝加工を実現できます。
具体的な事例を下記にてご紹介しますので、是非ご覧ください。