ナノ加工技術コラム

2024.06.25

超精密加工と精密加工における加工領域の違い

超精密微細加工.comでは、「超精密加工」に焦点を当てて多数の技術情報を発信してまいりました。この「超精密加工」によく似たワードとして「精密加工」といった言葉も存在します。一見すると、「超精密加工とは、精密加工の領域よりもさらに精密な加工領域である」というような解釈を行うことができます。

しかしながら、具体的にどのくらい加工精度が違うのかということを明確にイメージできていない方も多いと思います。そこで、当記事では、長年超精密加工に携わってきた当社の視点で、精密加工と超精密加工における加工領域の違いをご紹介します。

超精密加工と精密加工における加工領域の違い

前提として、精密加工と超精密加工の加工精度など明確な数値の定義は有りませんのが、ここでは、より明確に定義するために寸法精度に着目して、双方の違いを比較します。

（※サイズ・材質により異なりますので、あくまでご参考として確認ください。）

上記の通り、精密加工と超精密加工では寸法精度や面粗度はもちろん、精度面で大きな違いがあります。ちなみに、精密加工を凌駕するこの超精密加工は、光学部品やレンズ金型などのナノレベルの精度が求められる用途で重宝されています。しかし、上記はあくまで数値の指標であるため、当社が手掛ける超精密加工例をご紹介いたします。

超精密加工の例

シャープエッジ加工（フレネルレンズ）

〇特長

・コーナーR2μm以下
・表面粗さRa2nm

〇詳細

金型のNi-Pめっき面に対して、金型底部コーナーRを極限まで小さくすることを目的として製作。ダイヤモンドバイト形状および加工条件最適化にてコーナーR2μm以下・表面粗さRa2nmを実現

高精度ピッチ加工（ウエハーレベルレンズ）

〇特長

・形状精度:PV0.2μm以内
・ピッチ精度:0.5μm以下

〇詳細

Ni-Pめっきを被削材とし、形状精度PV0.2μm、ピッチ精度±0.0005mm(0.5μm)以下に加工した製品です。このレンズアレイ金型は２面で構成され、全てのレンズにおいて±0.5μmのピッチ精度を達成しています。

小径急勾配加工（マイクロレンズアレイ）

〇特長

・形状精度:PV0.2μm
・レンズ角:最大70°
・rms:50nm以下

〇詳細

Ni-Pめっき面に形状精度PV0.2μm、rms50nm以下の精度で加工したマイクロレンズアレイです。小さなレンズが多数並んでいますが、最大角度70ﾟ以上というレンズ形状を有しているため、形状精度確保が非常に難しい製品です。

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超精密微細加工.comを運営するジュラロン工業では、幅広い超精密加工機を保有しており、超精密切削加工にあたっています。超精密切削加工の委託先にお困りの方は、是非当社までご連絡ください。

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