微細溝加工サービス

微細溝加工とは

微細溝加工とは、ミクロン単位のピッチの溝をサブミクロンの精度で加工することを指します。右の画像は実際に当社が微細溝加工を施した事例で、ピッチ20μm矩形溝で、深さ1.4μmかつ位相段差をシャープなエッジにて加工したものです。溝の位相（位置）を部分的に変えることで、回折光の波面位相を調整する回折格子として使われます。

＞＞ミクロン単位の超微細溝加工を施す方法

この微細溝加工を行う際には、溝による機能を損なわないために、ミクロン単位の精度が求められるため、超精密加工機に加えて、外部からの振動をキャンセルできるような環境が必要になります。
超精密微細加工.comを運営するジュラロン工業では、微細溝加工に必要な条件を全て満たし、大手メーカー様を始めとする多くのお客様に、ご満足いただける微細溝加工をご提供してまいりました。微細溝加工をご検討中の方はお気軽にご相談ください。

超精密微細加工.comの　微細溝加工サービス　が選ばれる理由

01

最小ピッチ0.4μm、V開き角30°の
V溝に対応

当社では、微細なV溝加工の実績が多数あります。フレネルレンズのように同心円状にV溝を施すことや、非球面形状の上にV溝を施すことも可能です。また、Vの角度を変化させるような形状も対応しております。
02

最小溝幅5μm、深さ5μmの
矩形溝に対応

矩形溝においても、微細溝加工を施した事例が多数あり、最小幅5μmに対し、深さ5μmの溝加工に対応可能です。また、溝幅を拡げれば、アスペクト比を1：2(溝幅：溝深さ)などで加工することも可能です。
03

V溝や矩形溝以外にも
様々な溝形状に対応可能

矩形溝やV溝以外にも、台形溝等の特殊形状の加工も可能です。縦横もしくは3方向から溝加工を施すことで、四角錐・三角錐形状の溝も形成できます。

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微細溝加工の製品事例

超精密・微細加工 .comを運営するジュラロン工業では、これまで様々な微細溝加工を手掛けてきました。
下記にてその一例をご紹介いたしますので、ぜひご覧ください。
写真をクリックして頂くと詳細が表示されます。

微細溝加工を実現するために押さえておきたいポイント

超精密・微細加工 .comでは、加工技術・ノウハウと最新のナノ加工機を駆使してお客様のご要求スペックを実現いたしますが、
微細溝加工を実現する上で、超精密加工品や微細加工品を手掛ける皆様に、
ぜひ押さえておいて頂きたい技術的ポイントをご紹介いたします。

01 / 微細溝加工は一般的な工具では実現できない

微細溝加工を行う際、超硬やハイスなどの一般的な刃物ではシャープエッジを確保することができないため、ダイヤモンドバイトを使用する必要があります。また、このダイヤモンドバイトの形状も、溝の形状とサイズに合わせた特注のものを使用しなければなりません。加工する溝が溝幅5μmの矩形溝であれば、刃幅が5μm以下の矩形のダイヤモンドバイトを製作しなければならないということです。

02 / 微細溝加工が可能な材質は限られる

前述の通り、加工の際にダイヤモンドバイトを使用する必要があるのですが、鋼材を加工するとダイヤモンドの炭素と鋼材の炭素との化学反応により摩耗が発生してしまいます。これを回避するために「振動切削」という方法もありますが、矩形やV溝を加工する場合は、ダイヤモンドの形状が強度的に弱いため、この加工方法を用いても刃物の摩耗が急速に進んでしまいます。これらの理由から、鋼材に微細溝を施す場合には、Ni-Pめっきの上から加工を行う必要があります。

03 / 溝形状に合わせた加工方法を選択する

微細溝加工は、切削以外にもフォトリソグラフィで行うことが可能です。フォトリソグラフィによる微細溝加工は、最小幅30nm程度（1nm = 0.001μm）の加工が可能ですが、エッチングにより加工を行うという特性上、シャープエッジを実現することは難しいものとなっております。一方、切削による微細溝加工は、微細なダイヤモンドバイトを使用することにより、シャープエッジを実現することが可能です。それぞれの比較については、下記にて詳しく解説しております。

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