よくある質問
よくある質問
Q 微細加工についてどのような評価をしていただけますでしょうか？
A 寸法・形状・粗さ・透過波面・反射率(透過率)等の評価が可能です。
加工品の評価については、下記の評価をさせて頂きます。
①寸法、②形状・粗さ、③透過波面・反射率(透過率)
①寸法
→マイクロメーターの他、測定顕微鏡・三次元測定機・レーザー顕微鏡を用いて、寸法測定にあたっています。
②形状・粗さ
→超精密3次元測定機(UA3P-4)・形状・粗さ測定機(Form Talysurf)・干渉計・原子間力顕微鏡（AFM）を用いて、形状・粗さを測定しています。
③透過波面・反射率(透過率)
→干渉計・分光光度計を用いて、透過波面・反射率を測定しています。
加工精度
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- Q 超精密加工とはどの程度の寸法精度と面粗度を指しますか？
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