加工スペック

金型のNi-Pめっき面に対して、金型底部コーナーRを極限まで小さくすることを目的として製作。

ダイヤモンドバイト形状および加工条件最適化にてコーナーR2μm以下・表面粗さRa2nmを実現

Ni-Pめっきを被削材とし、形状精度PV0.2μm、 ピッチ精度±0.0005mm(0.5μm)以下に加工した製品です。
このレンズアレイ金型は２面で構成され、全てのレンズにおいて±0.5μmのピッチ精度を達成しています。

Ni-Pめっき面に形状
精度PV0.2μm、rms50nm以下の精度で加工したマイクロレンズアレイです。小さなレンズが多数列んでいますが、最大角度70ﾟ以上というレンズ形状を有しているため、形状精度確保が非常に難しい製品です。

ワークサイズΦ60㎜のポリカードネート樹脂に、切削加工のみで表面粗さRa0.8nmを達成。

通常単結晶ダイヤモンド工具での切削では、表面粗さはRa10nm程度のところ、切削後に特殊処理を行っています。

Ni-Pめっき面に対し、山ｰ谷の幅10μmで
深さ1.4μmかつシャープなエッジにて加工。

高精度な回折効率をコントロールすることで、フォトリゾグラフィでは得られないシャープなエッジを実現。

5軸加工機で加工した”直径2mmのレンズ”の形状誤差を表した指標です。横軸は直径、縦軸は精度（μ）を表しています。ご覧いただくと分かる通り、精度のずれがほとんどなく、形状精度:PV0.0390μmを達成しています。