ナノ加工技術コラム

2025.01.21

最小溝幅0.4μmを実現するV溝加工における超微細溝加工

光学部品などに対してミクロン単位の溝加工を行う際に用いられる超微細溝加工ですが、
当社では、矩形溝であれば最小溝幅5μm、V溝加工だと最小溝幅0.4μmの加工精度を実現できます。
本記事では、最小溝幅0.4μmを可能にする当社の超微細溝加工の特徴についてご紹介します。

最小溝幅0.4μmを実現する超微細溝加工のポイント

高速引き切り加工で、短時間で加工が可能

上述の通り、当社では最小溝幅0.4μmの溝加工を実現することが可能です。一般的に、このような溝加工はピッチが非常に細かいため、
多大な時間がかかってしまいます。
しかし、当社では、工具を高速かつ精密に最大1秒間に5往復させる引き切り加工を行うことで、短時間で幅0.4μmのV溝加工を実現しています。
下記の動画は、NiPメッキを被削材とした、ピッチ0.4～0.65μmのＶ溝の回折格子の加工を行っている様子です。是非、ご覧ください。

＞＞動画はこちら

高速引き切り加工では、均一な溝の深さを実現できる

当社の引き切り加工では、ピエゾ素子を用いることで、最短で溝の高さを変更することができるので、超精密微細加工を短時間で実現できます。

当社の超微細溝加工事例をご紹介

加飾用回折格子

こちらの加飾用回折格子は、装飾を目的とした回折格子であり、Ni-Pめっき素材を用いて加工されています。
ピッチは0.4～0.65μmのV字形状を形成しており、白色光を照射することで、微細な構造が光を干渉・分光させ、構造色として美しい発色を実現します。また、観察する角度によって発色が変化するため、色の見え方を自在にコントロールすることが可能です。

＞＞詳しくはこちら

フレネルレンズ金型

こちらのレンズ金型は、Ni-Pめっき表面にフレネル加工を施したVRレンズ用の金型です。
レンズ性能を向上させるため、金型の底部コーナーRを可能な限り小さくすることを目指して製作されています。通常、ダイヤモンドバイトの先端Rを小さくすることで小径のコーナーRを加工できますが、鏡面仕上げを保つことが非常に困難です。しかし、当社ではダイヤモンドバイトの形状や加工条件を徹底的に最適化することで、R2μmのコーナーRと表面粗さRa2nmの両立を実現しました。

＞＞詳しくはこちら